Lam Research Corp. heeft 's werelds eerste productie-georiënteerde gepulseerde laser depositie (PLD) tool geïntroduceerd om de volgende generatie op MEMS gebaseerde microfoons en radiofrequentie (RF) filters mogelijk te maken. Lam's Pulsus?

PLD-systeem levert aluminium scandiumnitride (AlScN) films met het hoogste scandiumgehalte dat beschikbaar is. Dit maakt de weg vrij voor geavanceerde consumenten- en autoapparaten met verbeterde prestaties, mogelijkheden en functionaliteit. Pulsus wordt nu geleverd aan geselecteerde fabrikanten van speciale apparaten.

De toevoeging van Pulsus PLD aan de Lam-portfolio breidt Lam's uitgebreide assortiment van depositie-, ets- en single-wafer clean-producten gericht op speciale technologieën verder uit en toont Lam's voortdurende innovatie in deze sector. Geavanceerde films zorgen voor hoogwaardige apparaten: RF-filters spelen een cruciale rol in de prestaties van 5G, WiFi 6 en WiFi 6E door het aantal banden dat een netwerk aankan te verhogen en tegelijkertijd de ervaring van elke gebruiker te verbeteren. MEMS-microfoons worden gewaardeerd om hun hoge signaal-ruisverhouding, waardoor ze zelfs gedempte geluiden nauwkeurig kunnen opvangen - essentieel voor spraakbedieningsfuncties en ruisonderdrukking in apparaten die geschikt zijn voor 5G.

Pulsus gebruikt een baanbrekende technologie om films van hoge kwaliteit af te zetten die RF-filters en MEMS-microfoons optimaliseren. Hoe hoger het scandiumgehalte in de film, hoe beter de prestaties van de apparaten. Pulsus levert films met minstens 40% scandium - de hoogste concentratie die nu beschikbaar is.

Deze films hebben een laag diëlektrisch verlies en een twee keer zo hoge piëzo-coëfficiënt als de huidige gesputterde films, waardoor de elektrische conversie geoptimaliseerd wordt voor een verbeterde gevoeligheid in RF-filters en betere prestaties in MEMS-microfoons. Verder maken de verbeterde piëzo-elektrische eigenschappen het haalbaar om loodzirkonaattitanaat (PZT) te vervangen door loodvrij AlScN. In het PLD-proces van Pulsus wordt een intense laserpuls gebruikt om een doelmateriaal te raken.

Het doelmateriaal wordt verdampt, waardoor een stabiele, dichte plasmapluim ontstaat die in dunne lagen op een wafer wordt afgezet. Dit proces is van vitaal belang voor het verkrijgen van hoogwaardige, uniforme films met nauwkeurige controle over dikte en spanning. Pulsus is de eerste keer dat lasers gebruikt worden voor de afzetting van dunne lagen in grote volumes.

De PLD-mogelijkheden van Pulsus, ondersteund door Lam's 2300 platformontwerp, zorgen voor uitzonderlijke filmafwijkingen en -kwaliteit tegen een fractie van de kosten per wafer in vergelijking met conventionele depositietechnieken. Deze efficiëntie kan chipmakers helpen om de productieopbrengst te verhogen en hun productroutekaart te versnellen. Naast AlScN kan Pulsus een breed scala aan complexe, multi-element materialen afzetten die met andere methoden niet kunnen worden toegepast.

Lam onderzoekt nieuwe materialen om te voldoen aan de eisen van de markt voor speciale technologieën voor toepassingen zoals AR/VR en quantumcomputing.