ASM International N.V. heeft TENZATM ALD aangekondigd, een innovatieve single wafer atomic layer deposition (ALD) procestechnologie voor 300mm wafers. TENZATM ALD is geoptimaliseerd voor "gap-fill" toepassingen en biedt de beste filmkwaliteit, conforme dekking door de volledige sleuf en de hoogste productiviteit in zijn klasse. TENZATM ALD wordt aangeboden op ASM's zeer productieve quad chamber module (QCM) architectuur, met vier strak geïntegreerde reactoren op elke QCM.

In een compacte configuratie kunnen tot 4 QCM's met het TENZATM ALD-proces aan het XP8-platform worden gekoppeld, waardoor tot 16 wafers tegelijk kunnen worden verwerkt. TENZATM ALD maakt gebruik van een nieuw ontwerp dat geoptimaliseerd is voor ALD-reacties, waarbij het procesvolume geminimaliseerd wordt voor een maximaal rendement van het precursorgebruik, het precursorverbruik tot 50% verlaagd wordt en de productiviteit meer dan verdubbeld wordt in vergelijking met conventionele ALD-benaderingen. Elke reactorkamer regelt afzonderlijk de RF-plasmastroomvoorziening en het bijpassingssysteem om de reproduceerbaarheid van het proces te verbeteren.

De reactor met klein volume biedt ook uitstekende defectprestaties en een langere levensduur van de reactor (bedrijfstijd vóór preventief onderhoud). De procesreacties zijn opgesloten binnen elke reactorruimte met klein volume om het aantal verbruiksartikelen te minimaliseren, waardoor het onderhoud zeer eenvoudig en minder kostbaar is. TENZATM ALD maakt een verscheidenheid aan siliciumoxidetoepassingen mogelijk voor gap-fill en liners voor een reeks structuren in geavanceerde transistors, geheugenapparaten en interconnects.

De industrie kan rekenen op TENZATM ALD om een hoogwaardig, betrouwbaar, herhaalbaar, productiebewezen gap-fill proces te leveren met de laagste eigendomskosten op de huidige markt. De levering van TENZATM ALD is begonnen aan meerdere klanten wereldwijd, waaronder leiders in de productie van geheugenapparatuur. ASM's volwassen compacte ALD module met vier kamers heeft een bewezen staat van dienst met meer dan 2.000 reactoren die aan klanten geleverd zijn.