CyberOptics Corporation zal exposeren op SEMICON West 2022 HYBRID, dat gepland is op 12–14 juli 2022 in het Moscone Center in San Francisco en 24/7 online. Het bedrijf zal zijn volgende-generatie WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2) en nieuwe ReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR) lanceren in Booth #1241. ATS2 en ATSR zijn multi-camerasensoren die met CyberSpectrum™ software worden gebruikt om nauwkeurige wafer en reticle hand-off kalibratie aan te leren voor de juiste uitlijning en set-up van halfgeleiderwerktuigen. De sensoren "zien" naar binnen om driedimensionale off-set gegevens (x, y en z) in real-time vast te leggen om snel wafer- en reticle overdrachtsposities te leren - en dat alles zonder de gereedschappen te openen.

Proces- en apparatuuringenieurs kunnen herhaalbare en reproduceerbare setups en onderhoudscontroles uitvoeren, problemen sneller opsporen en variaties tussen technici elimineren. CyberOptics zal ook WaferSense® sensoren demonstreren voor nivellering, vibratie, gapping, relatieve vochtigheid, weerstand en zwevende deeltjes.