Advanced Energy Industries, Inc. onthult een nieuw impedantienetwerk voor ultrasnelle, Rf-gesynchroniseerde afstemming op multilevel pulstoestanden
25 juni 2024 om 16:00 uur
Delen
Advanced Energy Industries, Inc. heeft het NavX impedantieaanpassingsnetwerk met algoritmen en directe generatorcommunicatie onthuld, waarmee superieure niveaus van nauwkeurige en herhaalbare plasmabeheersing mogelijk worden, wat cruciaal is bij 'Angstrom-Era' fabricage. De volgende generatie halfgeleider etsprocessen vereist ongekende niveaus van plasmacontrole tijdens snelle pulsen, frequente overgangen en langere recepten die nodig zijn om kleinere, snellere en efficiëntere chips met complexere 3D-structuren te fabriceren. Advanced Energy's NavX matching netwerk is speciaal ontworpen met directe match-generator communicatie en ultrasnelle afstemming met behulp van AE hardware en eigen algoritmen. Dit maakt RF-gesynchroniseerde impedantieaanpassing tijdens multilevel pulstoestanden mogelijk voor nauwkeurige regeling van plasmakarakteristieken.
NavX synchroniseert direct met de eVerest RF-generator en bevat eigen Advanced Selectable Tuning- en Velocity Tuning-algoritmen die de responssnelheid voor pulssequenties optimaliseren. Het +/- 10% frequentiebereik van het systeem zorgt voor een snellere afstemming en toegang tot een breder impedantiebereik. De immuniteit voor intermodulatievervorming (IMD) handhaaft de afstemnauwkeurigheid in multifrequentietoepassingen en schaalbare pulstoestanden bieden een pad naar nieuwe energieregimes.
Het NavX-afstemmingsnetwerk is volledig compatibel met het PowerInsight by Advanced Energy® IoT-platform, dat snelle toegang biedt tot hogeresolutie, bruikbare gegevens die procesoptimalisatie ondersteunen.
Delen
Naar het originele artikel.
Wettelijke waarschuwing
Advanced Energy Industries, Inc. levert technische, kritische oplossingen voor het omzetten, meten en regelen van precisievermogen aan haar klanten. Het bedrijf ontwerpt, vervaardigt, verkoopt en ondersteunt precisie-energieproducten die de ruwe elektrische stroom afkomstig van het elektriciteitsnet of de gebouwfaciliteit transformeren, verfijnen en wijzigen en deze omzetten in verschillende soorten regelbare, bruikbare stroom die voorspelbaar, herhaalbaar en aanpasbaar is om te voldoen aan de noodzakelijke vereisten voor het voeden van een reeks complexe apparatuur. De precisie-energieproducten en -oplossingen zijn ontworpen om nieuwe procestechnologieën mogelijk te maken, de productiviteit te verhogen en klanten te voorzien van kritisch vermogen. De servicegroep biedt garantie- en aftermarket reparatiediensten. Het bedrijf biedt reparatieservice en klantenondersteuning via zijn wereldwijde ondersteuningsorganisatie. De ondersteunende diensten omvatten reparatiediensten binnen en buiten de garantieperiode, kalibratie, upgrades en opknapbeurten van haar producten.