Nova Ltd. heeft aangekondigd dat het meerdere orders heeft ontvangen van toonaangevende klanten voor oplossingen voor procesbesturing voor de productie van Gate-All-Around (GAA) apparaten. De orders betreffen oplossingen voor dimensionale, materiaal- en chemische metrologie. De onderneming verwacht deze in de komende 12 maanden te kunnen leveren, en aanvullende orders zullen naar verwachting volgen naarmate GAA zich verder ontwikkelt naar hoog-volume productie.

Nova's uitgebreide portfolio stelt klanten in staat om diepere inzichten te krijgen in complexe halfgeleiderstructuren en biedt een breder perspectief op geometrische afmetingen, materiaaleigenschappen en chemische analyses. Het bedrijf is bezig met of heeft opdrachten ontvangen van toonaangevende fabrikanten die overstappen op GAA, wat de unieke waarde van het portfolio bevestigt. Naarmate de halfgeleiderindustrie verschuift naar langverwachte geavanceerde technologieknooppunten, ontstaan er nieuwe procesuitdagingen.

De tijd die nodig is om opbrengst te genereren wordt kritisch en botst met een toenemend aantal processtappen, hogere bemonstering en een lagere fouttolerantie. Dit conflict wordt nog gecompliceerder door de noodzaak om on-device en in-die te meten, aangezien de teststructuren niet langer representatief zijn voor het werkelijke proces. Bovendien maakt een overvloed aan nieuwe materialen die in het proces worden geïntroduceerd een inline controle van parameters noodzakelijk.

Oplossingen voor procesbesturing moeten complexe 3D-structuren, nieuwe materialen, meer lagen en meer fysische en chemische inline parameters aankunnen om aan deze behoeften te voldoen.