imec zei dat het met succes circuits had geprint die even klein of kleiner zijn dan de beste die momenteel in commerciële productie zijn, voor zowel logica- als geheugenchips, in één enkele doorgang met het nieuwe "High NA" gereedschap van ASML.
De ontwikkeling suggereert dat toonaangevende chipmakers het gereedschap zoals gepland de komende jaren zullen kunnen gebruiken om generaties van kleinere, snellere chips te maken.
High NA zal "van groot belang zijn om de dimensionale schaalvergroting van logica- en geheugentechnologieën voort te zetten", aldus Luc Van den Hove, CEO van imec, in een verklaring.
imec merkte op dat veel andere chemicaliën en gereedschappen die nodig zijn voor de rest van het chipfabricageproces gebruikt zijn voor de tests en op hun plaats lijken te vallen voor commerciële productie.
ASML is de grootste leverancier van apparatuur aan makers van computerchips, dankzij haar dominantie in lithografiesystemen - enorme machines die lichtstralen gebruiken om schakelingen te maken.
De mogelijkheid van het High NA-gereedschap om kleinere elementen in minder stappen af te drukken, zou chipmakers geld moeten besparen en het hoge prijskaartje van het gereedschap moeten helpen rechtvaardigen.
Reuters meldde maandag dat Intel de eerste twee High NA tools koopt, en dat een derde later dit jaar naar TSMC gaat, dat chips maakt voor Nvidia en Apple.
"Een tweede gereedschap is nodig voor het volume aan wafers en experimenten dat nodig is om een ontwikkelingslijn te ondersteunen, vertelde Intel directeur lithografie Mark Philips in een e-mail aan Reuters.
Andere chipmakers die een High NA tool hebben besteld, zijn Samsung Electronics en geheugenspecialisten SK Hynix en Micron.
($1 = 0,9163 euro) (Verslaggeving door Toby Sterling; Bewerking door David Holmes)