De oorsprong van ASML gaat terug tot 1984. Het bedrijf ontstond uit een joint-venture tussen Philips en ASMI (Advanced Semiconductor Materials International). Ja, je leest het goed, Philips. Hetzelfde bedrijf dat tegenwoordig nog maar weinig mensen inspireert, behalve misschien enkele dividendliefhebbers of speculanten die hopen op een ommekeer. In de jaren 1970 was Philips een enorm conglomeraat met een aanwezigheid in diverse sectoren: audiovisueel, verlichting, gezondheidszorg (de tak die het concern behield). Philips was zelfs actief in het voetbal met de club PSV Eindhoven. PSV is de afkorting van Philips Sport Vereniging.
De beginjaren waren moeizaam. ASML had aanzienlijke financiële steun nodig om zijn hoge uitgaven voor onderzoek en ontwikkeling te dekken. Na de afsplitsing van ASM International heeft de groep standgehouden, hoewel ze in de jaren 1990 een bescheiden rol speelde op de lithografiemarkt, waar de marktaandelen voornamelijk in handen waren van de Japanse bedrijven Nikon en Canon. In de loop der jaren heeft ASML echter zijn vermogen aangetoond om te innoveren en zijn technologie te verbeteren.
Tegenwoordig heeft ASML vrijwel een monopolie op het gebied van lithografiemachines. Maar wat is lithografie in de wereld van chips? Lithografie is een fabricageproces om erg nauwkeurige patronen te etsen op siliciumwafers. Dit proces maakt gebruik van ultraviolet licht waaraan een laag fotogevoelig materiaal, een fotoresist, wordt blootgesteld door middel van een masker dat het te reproduceren patroon bevat. De blootgestelde gebieden worden vervolgens ontwikkeld en chemisch verankerd zodat fijne structuren ontstaan, zoals transistors en interconnecties, die de elektronische chips vormen.
Lithografiemachines zijn uiterst complex. Een enkele machine kost gemakkelijk 150 miljoen euro. Ze zijn simpelweg essentieel voor het ontwerpen van de chips die nodig zijn voor de werking van telefoons, elektrische voertuigen, beveiligingssystemen, medische apparatuur, netwerkinstallaties en natuurlijk kunstmatige intelligentie.
De grafische verwerkingseenheden van Nvidia (de beroemde GPU's), essentieel voor AI-modellen, worden geproduceerd door het Taiwanese TSMC. TSMC vertrouwt op de lithografiemachines van ASML om deze chips te produceren. Je begrijpt dus waarom ASML een strategisch belangrijk bedrijf is op wereldniveau. In die zin zit aan het bedrijf ook een politiek risico vast dat niet mag worden genegeerd: China vertegenwoordigt iets meer dan een kwart van de omzet, en de Verenigde Staten houden dit nauwlettend in de gaten met het oog op het beperken van de toegang van China tot gevoelige technologieën.
De technologieën die ASML verkoopt

ASML produceert verschillende lithografietechnologieën die ultraviolet licht gebruiken om microscopische patronen op siliciumwafers te etsen en complexe chips te creëren. Onder deze technologieën ligt het grote verschil in de golflengte van het gebruikte licht. De EUV-machines (Extreme Ultraviolet Lithography) zijn de meest nauwkeurige (13,5 nanometer). Dit is de meest complexe en duurste technologie. De andere machines (buiten de L-line) behoren tot de DUV-technologie (Deep Ultraviolet), die verwijst naar kortere golflengten, typisch tussen 190 en 250 nanometer. Dit betekent niet dat DUV-machines een marginale rol spelen, wel integendeel. Hoewel EUV het mogelijk maakt om chips van zeer hoge resolutie te produceren, maakt DUV massaproductie mogelijk, minder veeleisend maar net zo essentieel. Bovendien wordt DUV al decennia lang gebruikt voor de productie van halfgeleiders: de techniek wordt dan ook als betrouwbaar en veelzijdig beschouwd.

De machines van ASML zijn bedoeld voor de productie van twee grote families van halfgeleiders: logische chips (de "hersenen" die informatie verwerken in elektronische apparaten) goed voor 58 % van de omzet, en geheugenchips (om grote hoeveelheden gegevens op te slaan in zeer kleine gebieden) voor 22 %. De rest van de omzet is terugkerend en komt voornamelijk uit onderhoud en service van de geïnstalleerde machinebasis.
ASM International
ASM International opereert op de markt voor apparatuur voor de fabricage van halfgeleiderwafers. Het bedrijf biedt gereedschappen voor depositie in zeer specifieke domeinen.
De belangrijkste productlijn is ALD (Atomic Layer Deposition). ALD vertegenwoordigt bijna de helft van de verkopen van het bedrijf. Het is het meest geavanceerde type depositie, omdat naarmate transistors kleiner worden, er steeds meer precisie nodig is, nu op atomaire schaal, om ultradunne films op de wafers (de siliciumplaten) te creëren.
ASMI is ook gespecialiseerd in de epitaxie van silicium en de epitaxie van siliciumcarbide (sinds de overname van het Italiaanse LPE in 2022), wat de tweede grote productlijn vormt. Deze oplossingen omvatten de depositie van lagen die voor specifieke doeleinden worden gebruikt in de complexe fabricageprocessen van chips. Het grote verschil tussen de epitaxie van silicium en die van siliciumcarbide is dat de laatste, die silicium en koolstof combineert, geschikt is om hogere temperaturen en spanningen te weerstaan, wat het ideaal maakt voor extreme omgevingen. Het gebruik ervan is bijvoorbeeld zeer wijdverbreid om de capaciteiten van batterijen van elektrische voertuigen te verbeteren. De markt voor siliciumcarbide-epitaxie groeit sterk, met een verwacht samengesteld jaarlijks groeipercentage (CAGR) van meer dan 30 % tegen 2028.
Ten slotte is ASM International ook actief op de markt voor verticale ovens (zoals de Sonora of de A400 DUO), die worden gebruikt voor de thermische behandeling van siliciumwafers. Deze ovens worden gebruikt voor processen zoals de diffusie van dopanten om de elektrische eigenschappen van silicium te wijzigen, oxidatie om lagen op het oppervlak van het materiaal te creëren, het uitgloeien om de kristalstructuur van materialen te herstellen, of het aanbrengen van dunne lagen via processen zoals PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Deze verticale ovens moeten niet worden verward met lithografiemachines die worden gebruikt om patronen op de wafers te etsen.
De SONORA (een verticale oven) gecommercialiseerd door ASM International voor de thermische behandeling van siliciumwafers (bron: ASM International)

ASML versus ASM International: wat zijn de verschillen?
Aan de ene kant hebben we ASML, met een beurswaarde van 295 miljard euro, specialist in lithografiemachines. Aan de andere kant, ASM International, met een waarde van 30 miljard euro, actief in diverse specialiteiten die worden gebruikt voor de productie van chips. Beide bedrijven zijn Nederlands en strategisch belangrijk dankzij de uiterst geavanceerde en complexe technologieën die ze op de markt brengen. Er is bovendien een historische band, hoewel er geen band meer is in termen van aandeelhouderschap. ASML is ontstaan uit een joint-venture tussen ASMI en Philips.
Meer lezen?
Halfgeleiders: er hangt onrust in de lucht
Hoe silicium wordt gemaakt (Youtube, in het Engels)
ASML: uniek bedrijf (Substack, in het Engels)